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瀏陽泰科天潤半導體技術(shù)有限公司成立于2019年12月5日，注冊資本41000萬元?？毓赡腹緸樘┛铺鞚櫚雽w科技（北京）有限公司，是國內(nèi)首家專注于從事寬禁帶半導體材料碳化硅（SiC）功率芯片制造及相應電源產(chǎn)品解決方案的領軍企業(yè)。2020年，瀏陽泰科天潤年產(chǎn)60000片6英寸碳化硅晶圓的功率芯片生產(chǎn)線凈化車間及配套工程竣工（主要包括黃光車間、凈化車間、測試檢驗、產(chǎn)成品出庫車間及關(guān)鍵動力配套設施建設），主要生產(chǎn)設備的導入、安裝和調(diào)試完成90%。2021年上半年，進行設備調(diào)試和工藝驗證，下半年，試生產(chǎn)驗證通過后進行正式投產(chǎn)和運營管理。產(chǎn)線建成投產(chǎn)后，可以提供品類豐富的碳化硅功率器件產(chǎn)品百余款以及采用碳化硅功率器件的電源產(chǎn)品。各類型碳化硅器件包括SBD/PIN二極管和MOSFET/GTO/JEET晶體管器件，設計線寬水平為0.35μm，在傳統(tǒng)硅基功率器件晶圓制造工藝（清洗、氧化、刻蝕、涂膠顯影、背金）的基礎上，適應碳化硅材料的特性重新定義新制程工藝，同時結(jié)合碳化硅專有的高溫處理制程，比如高溫離子注入、高溫氧化、高溫退火、碳膜濺射等，整合碳化硅特有的晶圓制造生產(chǎn)整線工藝。產(chǎn)品在新能源汽車、充電樁、5G信息化、軌道交通、船舶航空、光伏風電、不間斷電源、家電工控等行業(yè)有廣闊的應用前景。