中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所原名中國(guó)科學(xué)院上海冶金研究所，前身是成立于1928年的國(guó)立中央研究院工程研究所，是我國(guó)最早的工學(xué)研究機(jī)構(gòu)之一。

上海微系統(tǒng)所現(xiàn)有傳感技術(shù)聯(lián)合國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室/微系統(tǒng)技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、信息功能材料國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，有中科院太赫茲固態(tài)技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、中科院無線傳感網(wǎng)與通信重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室以及中國(guó)科學(xué)院超導(dǎo)電子學(xué)卓越創(chuàng)新中心。設(shè)有傳感技術(shù)、信息功能材料、太赫茲固態(tài)技術(shù)、微系統(tǒng)技術(shù)實(shí)驗(yàn)室、無線傳感網(wǎng)與通信實(shí)驗(yàn)室、仿生智能微系統(tǒng)實(shí)驗(yàn)室（籌）、超導(dǎo)中心等實(shí)驗(yàn)室，并在上海、南京、杭州、無錫、嘉興、南通與地方合作共建了七個(gè)分支機(jī)構(gòu)，與德國(guó)亥姆霍茲國(guó)家研究中心于利希中心共建了超導(dǎo)與生物電子學(xué)聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室，與中國(guó)鐵路通信信號(hào)集團(tuán)公司共建了軌道交通傳感與傳輸聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室，與吉林大學(xué)共建了地球物理探測(cè)技術(shù)聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室等。

面向“十三五”，上海微系統(tǒng)所將按照“面向世界科技前沿、面向國(guó)家重大需求、面向國(guó)民經(jīng)濟(jì)主戰(zhàn)場(chǎng)”的新時(shí)期辦院方針，充分發(fā)揮電子科學(xué)與技術(shù)、信息與通信工程兩大學(xué)科優(yōu)勢(shì)，解決智能感知微系統(tǒng)、超導(dǎo)量子器件與電路、高端硅基材料等方向的重大關(guān)鍵科學(xué)和技術(shù)難題，實(shí)現(xiàn)創(chuàng)新跨越并推廣應(yīng)用，成為信息網(wǎng)絡(luò)/通信（ICT）領(lǐng)域不可替代、“四個(gè)一流”的國(guó)立研究機(jī)構(gòu)，為建設(shè)創(chuàng)新型國(guó)家和世界科技強(qiáng)國(guó)做出更大貢獻(xiàn)。