中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所原名中國科學院上海冶金研究所，前身是成立于1928年的國立中央研究院工程研究所，是我國最早的工學研究機構之一。

上海微系統(tǒng)所現(xiàn)有傳感技術聯(lián)合國家重點實驗室/微系統(tǒng)技術重點實驗室、信息功能材料國家重點實驗室，有中科院太赫茲固態(tài)技術重點實驗室、中科院無線傳感網與通信重點實驗室以及中國科學院超導電子學卓越創(chuàng)新中心。設有傳感技術、信息功能材料、太赫茲固態(tài)技術、微系統(tǒng)技術實驗室、無線傳感網與通信實驗室、仿生智能微系統(tǒng)實驗室（籌）、超導中心等實驗室，并在上海、南京、杭州、無錫、嘉興、南通與地方合作共建了七個分支機構，與德國亥姆霍茲國家研究中心于利希中心共建了超導與生物電子學聯(lián)合實驗室，與中國鐵路通信信號集團公司共建了軌道交通傳感與傳輸聯(lián)合實驗室，與吉林大學共建了地球物理探測技術聯(lián)合實驗室等。

面向“十三五”，上海微系統(tǒng)所將按照“面向世界科技前沿、面向國家重大需求、面向國民經濟主戰(zhàn)場”的新時期辦院方針，充分發(fā)揮電子科學與技術、信息與通信工程兩大學科優(yōu)勢，解決智能感知微系統(tǒng)、超導量子器件與電路、高端硅基材料等方向的重大關鍵科學和技術難題，實現(xiàn)創(chuàng)新跨越并推廣應用，成為信息網絡/通信（ICT）領域不可替代、“四個一流”的國立研究機構，為建設創(chuàng)新型國家和世界科技強國做出更大貢獻。